技術(shù)編號：3310914
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了可增進(jìn)低溫離子注入的產(chǎn)量的技術(shù)。在低溫離子注入時，注入程序可在冷卻程序使襯底溫度降至大約為一預(yù)定注入溫度前開始，而加熱程序可在注入程序完成前開始升高襯底的溫度。此外，可在注入程序中一部分期間或多個部分期間進(jìn)行一或多個溫度調(diào)整程序，以便于注入過程中，使襯底溫度可控制地高于預(yù)定注入溫度。專利說明[0001]本申請為申請?zhí)?01110072168.X、申請日2011.3.17、發(fā)明名稱的發(fā)明專利申請的分案申請。[0002]本發(fā)明有關(guān)離子注入，特別是有...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。