技術(shù)編號：3310404
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的目的在于提供在反復(fù)蒸鍍的情況下成膜材料的剝離防止效果也優(yōu)異的真空成膜裝置用防附著板及其制造方法、以及使用該防附著板的真空成膜裝置及真空成膜方法。本發(fā)明的真空成膜裝置用防附著板是用于防止成膜材料向真空成膜裝置中的不需要的位置附著的防附著板，其為鋁制，具有形成有包含平均開口徑為0.01～9μm的凹部的凹凸結(jié)構(gòu)的表面，在表面排列有平均高度為30～1000μm的多個突出部，突出部的平均密度為10個／10mm見方以上，突出部的底部面積的比率為在10mm見方的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。