技術(shù)編號：3308712
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在步驟1的升壓步驟中，利用PCV(54)對原料容器(60)內(nèi)供給運(yùn)載氣體，使原料容器(60)內(nèi)上升至第一壓力P1。在步驟2的降壓步驟中，使排氣裝置(35)工作，從原料氣體供給管(71)經(jīng)由排氣旁通管(75)將原料氣體廢棄，使原料容器(60)內(nèi)下降至作為第二壓力的壓力P2。在步驟3的穩(wěn)定化步驟中，一邊將運(yùn)載氣體導(dǎo)入原料容器(60)內(nèi)，一邊使排氣裝置(35)工作，從原料氣體供給管(71)經(jīng)由排氣旁通管(75)將原料氣體廢棄，使原料容器(60)內(nèi)的原料氣化的氣化...
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