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雙面磨削裝置及工件的雙面磨削方法技術資料下載

技術編號:3308706

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本發(fā)明是一種雙面磨削裝置,其特征在于具有可自轉的環(huán)狀保持器,其沿徑向從外周側來支撐薄板狀的工件;及,一對磨石,其同時磨削被該環(huán)狀保持器所支撐的前述工件的兩面;而且,所述雙面磨削裝置還具備靜壓軸承,該靜壓軸承根據(jù)由前述環(huán)狀保持器的自轉軸方向和垂直于自轉軸的方向這兩個方向所供給的流體的靜壓,由前述兩個方向非接觸支撐前述環(huán)狀保持器;并且,所述雙面磨削裝置可分別獨立地控制由前述自轉軸方向所供給的流體與由垂直于前述自轉軸的方向所供給的流體的供給壓力。由此,提供一種,...
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