技術(shù)編號(hào)：3308660
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的研磨用組合物含有磨粒、表面吸附劑和水，在研磨由結(jié)晶性的金屬化合物形成的研磨對(duì)象物的用途中使用。研磨用組合物與在研磨用組合物中不包含表面吸附劑的情況相比，研磨后的研磨對(duì)象物的表面缺陷減少。專利說明 [0001] 本發(fā)明涉及在研磨由結(jié)晶性的金屬化合物形成的研磨對(duì)象物的用途中使用的研 磨用組合物以及使用其的基板的制造方法。 背景技術(shù) [0002] 作為光學(xué)器件用基板材料和功率器件用基板材料，例如已知有氧化鋁（例如藍(lán) 寶石）、氧化硅、氧化鎵和氧化...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。