技術(shù)編號：3307233
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種類金剛石膜的涂層設(shè)備，包括涂層室、行星旋轉(zhuǎn)工件架、磁過濾弧源、分子泵、真空系統(tǒng)，所述涂層室為立式圓柱形，整體雙層水冷式結(jié)構(gòu)，涂層室前部設(shè)有進料門，涂層室的頂部設(shè)有管狀加熱器、熱電偶接口，涂層室的底部設(shè)有進氣口和行星旋轉(zhuǎn)工件架，涂層室的側(cè)壁安裝有磁過濾弧源，涂層室的后部安裝有分子泵和真空系統(tǒng)。本實用新型采用磁過濾功能與高真空多弧靶結(jié)構(gòu)，生產(chǎn)質(zhì)量穩(wěn)定可靠，可應(yīng)用于大批量生產(chǎn)，有利于降低生產(chǎn)成本。專利說明類金剛石膜涂層設(shè)備[0001]本實用新型...
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