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一種化學(xué)液相沉積裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3303937

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本實(shí)用新型涉及一種化學(xué)液相沉積裝置,包括爐體和真空系統(tǒng);爐體左面的真空系統(tǒng)與爐體的頂端連接,爐體的上部分別連接有冷凝器、冷卻水進(jìn)水管和出水管,爐體的底部底座上放置被加熱制品,被加熱制品的中心置有發(fā)熱體,被加熱制品的外圍設(shè)有感應(yīng)器,感應(yīng)器與變頻電源連接,在爐體的下部?jī)?nèi)置有含碳元素低分子化合物液體,它通過(guò)管路接入液體補(bǔ)給器,水箱通過(guò)管路與爐體上部的冷凝器、冷卻水進(jìn)水管和出水管分別連接進(jìn)行水循環(huán);冷凝器為螺旋管式冷凝器,在螺旋管式冷凝器的殼體內(nèi)設(shè)置有螺旋通流管,...
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