技術(shù)編號(hào)：3298663
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種。該利用成膜裝置在上述多個(gè)基板上形成含有第1元素及第2元素的摻雜氧化膜，該包括以下工序成膜工序，從上述第1氣體供給部供給含有上述第1元素的第1反應(yīng)氣體，從上述第2氣體供給部供給氧化氣體，在上述基板上形成含有上述第1元素的氧化膜；以及摻雜工序，從上述第1氣體供給部和上述第2氣體供給部中的一者供給含有上述第2元素的第2反應(yīng)氣體，從上述第1氣體供給部和上述第2氣體供給部中的另一者供給非活性氣體，在上述氧化膜上摻雜上述第2元素。專利說明[0001]本...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。