技術(shù)編號:3298101
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明實施例公開了一種冷卻裝置以及真空蒸鍍設(shè)備,可以加速真空蒸鍍設(shè)備蒸發(fā)源的冷卻過程,減少真空蒸鍍設(shè)備冷卻所需時間,有效提高真空蒸鍍設(shè)備的使用效率。本發(fā)明實施例的冷卻裝置,用于冷卻真空蒸鍍設(shè)備的蒸發(fā)源,冷卻裝置包括若干個冷卻單元;驅(qū)動單元,用于驅(qū)動冷卻單元包覆蒸發(fā)源;設(shè)置于冷卻單元內(nèi)部的冷卻管,冷卻管包括至少一個冷卻液進料口以及至少一個冷卻液出料口。專利說明冷卻裝置以及真空蒸鍍設(shè)備[0001]本發(fā)明涉及冷卻系統(tǒng),尤其涉及一種冷卻裝置以及真空蒸鍍設(shè)備。背景技...
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