技術(shù)編號(hào):3297815
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體用Φ400以上大尺寸高純鎢靶材,直徑≥400mm,純度達(dá)到99.999%以上、致密度99.5%以上、晶粒度≤100μm;其制備包括將純度99.999%以上、粒度2.2~2.6μm的鎢粉均勻混合;180~250MPa、5~10分鐘的冷等靜壓壓制成型;2300℃~2400℃、8~12小時(shí)的中頻感應(yīng)燒結(jié);1450~1550℃退火90~180分鐘后,經(jīng)多道次熱軋至5~15mm厚度,熱軋總變形量大于60%;再經(jīng)經(jīng)1300~1400℃退火90~1...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。