技術(shù)編號：3294487
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明所述的自適應(yīng)磁場調(diào)整型磁控濺射鍍膜設(shè)備，相鄰所述永磁鐵之間設(shè)置有通電線圈，在所述通電線圈和所述磁軛之間設(shè)置有霍爾傳感器，所述通電線圈的長度方向與所述永磁鐵磁極方向垂直；所述霍爾傳感器外接磁場強(qiáng)度偵測系統(tǒng)，用于磁場強(qiáng)度的實時監(jiān)測；所述通電線圈外接電路控制模塊，所述電路控制模塊與所述磁場強(qiáng)度偵測系統(tǒng)電連接，根據(jù)所述磁場強(qiáng)度偵測系統(tǒng)的數(shù)據(jù)調(diào)整流經(jīng)通電線圈的電流，以改變磁場分布，使得磁場一直處于最優(yōu)化的狀態(tài)，即磁力線盡量與靶面處于同一平面，以達(dá)到靶材利用率最...
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