技術(shù)編號(hào):3291741
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的原子層沉積裝置,包括供氣管和吸氣管,該供氣管具備供給管體,在其內(nèi)部沿長(zhǎng)度方向形成有供給氣體的供氣流道;排氣部,沿供給管體的長(zhǎng)度方向形成于供給管體,并與供氣流道連通;該吸氣管具備吸入管體,在其內(nèi)部沿長(zhǎng)度方向形成有吸入氣體的吸氣流道;吸氣部,沿吸入管體的長(zhǎng)度方向形成于吸入管體,并與吸氣流道連通;供氣管和吸氣管可以在與基板對(duì)供氣管和吸氣管的相對(duì)運(yùn)動(dòng)方向交叉的方向上彼此分開(kāi)形成。本發(fā)明一實(shí)施例中的原子層沉積裝置,分開(kāi)形成用于供給源氣體或反應(yīng)氣體的供給管和用...
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