技術(shù)編號：3290862
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明揭示了一種噴淋頭，所述噴淋頭用于向氣相沉積的反應(yīng)腔中氣體反應(yīng)區(qū)域輸出反應(yīng)氣體，所述噴淋頭至少包括第一源氣體腔、冷卻腔和離子化腔，所述第一源氣體腔用于向所述氣體反應(yīng)區(qū)域輸出第一源氣體，所述離子化腔用于向所述氣體反應(yīng)區(qū)域輸出離子化的第二源氣體。本發(fā)明還提供一種包含上述噴淋頭的氣相沉積反應(yīng)腔。本發(fā)明提供的噴淋頭的所述離子化腔將所述第二源氣體進行離子化，提高所述第二源氣體的離子化效率，可以降低所述氣體反應(yīng)區(qū)域的溫度，使得襯底的溫度降低，從而提高氣相沉積的效率...
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