技術(shù)編號：3287876
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了一種將基底圖案化的方法。該方法包括通過使金屬化基底與氧化劑和金屬絡(luò)合劑接觸以從未圖案化的區(qū)域除去金屬來在反應(yīng)容器內(nèi)濕法蝕刻金屬化基底。該方法還包括通過將氧化劑和金屬絡(luò)合劑中的每一種的補(bǔ)料遞送到蝕刻劑浴來保持蝕刻劑浴中的氧化劑和金屬絡(luò)合劑的濃度。該方法還包括通過從所述反應(yīng)容器排出一定量的所述蝕刻劑浴來保持蝕刻劑浴中的金屬的濃度。第一補(bǔ)料速率和第二補(bǔ)料速率以及蝕刻劑浴除去速率至少部分地基于從基底蝕刻的金屬進(jìn)入蝕刻劑浴的速率來確定。專利說明[0001...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。