技術(shù)編號(hào)：3287724
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種在通過化學(xué)氣相沉積方法制造材料過程中使用的電加熱沉積盒，其具有（i）比籽棒對(duì)高的表面積與體積比；（ii）比籽棒對(duì)高的起始有效沉積表面積與最終有效沉積表面積比；以及（iii）比基礎(chǔ)沉積板高的有效沉積表面積與總表面積比，這些通過在沉積盒的所有期望表面上達(dá)到并保持期望溫度來(lái)實(shí)現(xiàn)，而這又通過在沉積盒的所有期望橫截面積上通過期望量的電流分布來(lái)實(shí)現(xiàn)。專利說明用于通過化學(xué)氣相沉積方法制造材料的沉積盒[0001]本專利申請(qǐng)通過參考將2009年10月22日提交的美國(guó)專利...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。