技術(shù)編號：3287717
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。提供用于物理氣相沉積的設(shè)備和方法。在一些實施方式中，在物理氣相沉積腔室中冷卻靶材的冷卻環(huán)可包括環(huán)形主體，環(huán)形主體具有中心開口；入口端口，該入口端口耦接至主體；出口端口，該出口端口耦接至主體，冷卻劑通道，該冷卻劑通道設(shè)置在主體中并且具有第一端部和第二端部，該第一端部耦接至入口端口，該第二端部耦接至出口端口；以及帽件，該帽件耦接至主體并且實質(zhì)上跨越中心開口，其中該帽件包括中心孔。專利說明用于物理氣相沉積腔室靶材的冷卻環(huán)[0001]本發(fā)明的實施方式大體涉及物理氣...
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