技術(shù)編號：3287220
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種成膜裝置，該成膜裝置由遮擋裝置能夠選擇靶材，能夠防止發(fā)生在靶材間的污染。成膜裝置（10）具備遮擋裝置（54）和被固定于靶材電極（C）的第一遮擋板（65）側(cè)的上部遮蔽板（63），遮擋裝置（54）具有分別可旋轉(zhuǎn)的第一遮擋板（65）及第二遮擋板（67）。另外，在第一遮擋板（65）的靶材電極（C）側(cè)的面上，以夾著開口（65a，63a）的方式設(shè)置了旋轉(zhuǎn)分離壁（72），在上部遮蔽板（63）的第一遮擋板（65）側(cè)的面上，以夾著開口（65a，63a）的方式設(shè)置了固定分...
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