技術編號：3286724
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開了一種。采用射頻磁控濺射物理氣相沉積技術制備的薄膜，在高真空環(huán)境下具有超潤滑性能的硅、鋁共摻雜的含氫非晶碳薄膜，該種薄膜具有納米網絡狀及類富勒烯復合的納米結構，具有極為優(yōu)異的彈性恢復性能。此外，即使薄膜的納米硬度較低，屬于軟質薄膜，在真空環(huán)境下表現(xiàn)出了優(yōu)異的摩擦磨損性能，最低摩擦系數(shù)達到0.001，磨損率低至10-19m3/N·m數(shù)量級。該種薄膜均勻致密，與金屬基材料結合牢固，作為固體潤滑及密封材料，在真空環(huán)境中的各種機械運動部件方面具有良好的應...
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