技術(shù)編號：3286546
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種用于銅的化學(xué)機(jī)械拋光漿料及其應(yīng)用，該漿料包括研磨顆粒、絡(luò)合劑、氧化劑，腐蝕抑制劑，和至少一種磷酸酯類表面活性劑。使用本發(fā)明的漿料的可以保持較高的銅的去除速率，改善拋光后銅線的碟形凹陷和過拋窗口，拋光后的銅表面污染物少，無腐蝕等缺陷。專利說明一種金屬化學(xué)機(jī)械拋光漿料及其應(yīng)用[0001]本發(fā)明涉及一種化學(xué)機(jī)械拋光漿料及其應(yīng)用，尤其涉及一種用于銅的化學(xué)機(jī)械拋光漿料及其應(yīng)用。背景技術(shù)[0002]隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，電子部件的微小化，一個集成電路中包...
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