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改善化學(xué)氣相淀積爐管工藝顆粒的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3286446

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本發(fā)明公開(kāi)了一種,在化學(xué)氣相淀積爐管工藝的完成成膜后的降溫步驟中,利用循環(huán)凈化進(jìn)行處理,同時(shí)通入氮?dú)夂托?,從而使前步成膜工藝附著在排氣管管壁的DCS(二氯二氫硅,SiH2Cl2)與笑氣進(jìn)行反應(yīng),使其轉(zhuǎn)化成為氧化層,最終再通過(guò)排氣管排出;所述的循環(huán)凈化具體包括如下步驟先將爐管的壓力抽到底壓,然后同時(shí)通入氮?dú)狻⑿?,維持一定時(shí)間后,接著再抽到底壓,然后再同時(shí)通入氮?dú)夂托猓S持一定時(shí)間后,再抽到底壓,由此進(jìn)行循環(huán)。本發(fā)明在保證對(duì)于工藝的作業(yè)時(shí)間沒(méi)有影響,并保...
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