技術(shù)編號：3284741
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了，其中沉積爐管包括爐體、氣體反應(yīng)腔、通氣管道、抽氣泵、溫度控制器和晶舟，所述通氣管道貫穿于氣體反應(yīng)腔，且所述通氣管道上有至少兩個通氣孔。通過本發(fā)明的方案，由于通氣管道貫穿于氣體反應(yīng)腔，且通氣管道上開有至少兩個通氣孔，因此，在保持爐體內(nèi)溫度相同的情況下，利用所述通氣管道向沉積爐管輸送反應(yīng)氣體時，保證了氣體反應(yīng)腔內(nèi)各個區(qū)域氣流的相對平衡、氣體濃度的相對均衡，進(jìn)而使得晶圓表面沉積的薄膜厚度相同的同時，薄膜性質(zhì)是一致的，提高了產(chǎn)品的良率。專利說明[00...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。