技術(shù)編號：3279518
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。用于高流速真空起泡器容器的防濺器相關(guān)申請的交叉引用本專利申請是2009年3月19日提交的美國專利申請序列號12/407，279的部分繼續(xù)申請。背景技術(shù)電子制造業(yè)使用將液態(tài)化學(xué)品轉(zhuǎn)化成化學(xué)品蒸汽以便輸送給電子器件制造反應(yīng)器(即，處理裝置)而用于實施化學(xué)氣相沉積(CVD)的化學(xué)前體貯存器(container)。CVD是一種用于在電子制造的構(gòu)造(例如，集成電路或計算機芯片)中形成層、薄膜以及其它沉積物的受歡迎的技術(shù)。因為大量化學(xué)前體的運輸和存儲效率問題，所以優(yōu)選...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。