技術(shù)編號：3279143
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。背景技術(shù)隨著光學(xué)、信息、航空航天、計量檢測、生物醫(yī)學(xué)等多個領(lǐng)域的飛速發(fā)展，高性能、 高精度、高集成的光電系統(tǒng)不斷涌現(xiàn)。以光學(xué)玻璃，結(jié)晶硅等硬脆材料為代表的光學(xué)元件 對加工工藝提出更加嚴(yán)格的要求，傳統(tǒng)的超精密鏡面磨削與金剛石超精密車削加工后會在 表面與亞表面留下?lián)p傷，因此，加工對于要求表面超光滑、亞表面不能損傷的光學(xué)元件的加 工，新的光整加工技術(shù)的出現(xiàn)是必須的。磁流變拋光技術(shù)是一項適應(yīng)高精度、表面與亞表面沒有損傷的光整加工技術(shù)，是 利用磁流變液在...
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