技術(shù)編號：3279086
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種襯底加熱系統(tǒng)，尤指一種制備氧化物薄膜用襯底加熱系統(tǒng)。背景技術(shù)近幾年來，氧化物薄膜及其器件的研究取得了突飛猛進的發(fā)展，許多器件和子系統(tǒng)已走出實驗室進入實際應(yīng)用領(lǐng)域。目前，數(shù)千臺移動通信用高溫超導(dǎo)微波濾波器接收機前端已經(jīng)開始在商業(yè)通信網(wǎng)絡(luò)中運轉(zhuǎn)。高溫超導(dǎo)薄膜是制備高溫超導(dǎo)微波器件的前提條件之一(特別是直徑為2英寸以上的高質(zhì)量雙面高溫超導(dǎo)薄膜)，而襯底加熱系統(tǒng)是制備氧化物薄膜的裝置中的關(guān)鍵部件之一。在多種氧化物薄膜如高溫超導(dǎo)薄膜、巨磁阻薄膜和鐵...
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