技術(shù)編號：3272885
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及的是一種形狀記憶合金薄膜的制備方法，特別是一種，屬于微加工。背景技術(shù) 形狀記憶合金由于其獨(dú)特的力學(xué)特性，被作為溫度和力的檢測和控制元件，得到廣泛應(yīng)用。其應(yīng)用領(lǐng)域涉及到工業(yè)控制，電子技術(shù)、醫(yī)療衛(wèi)生、航空航天、軍事國防等眾多領(lǐng)域。NiTi形狀記憶合金為目前應(yīng)用最多的形狀記憶合金材料之一。經(jīng)過幾十年的研究積累，其體材料形式如，塊、板、薄帶、絲的應(yīng)用技術(shù)已經(jīng)非常成熟。自上世紀(jì)八十年代起，隨著微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的迅猛發(fā)展，對該技術(shù)中的重要和關(guān)鍵部件-微型驅(qū)動器...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。