技術(shù)編號：3267060
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種，其中，基板移動通過至少一個涂覆室，并且在此移動過程中被涂覆。背景技術(shù) 這種串列設(shè)備由幾個涂覆室組成，所述涂覆室串聯(lián)排列，并優(yōu)選借助于濺射工藝來涂覆基板。在這個過程中，基板被移動通過濺射設(shè)備，同時被連續(xù)地涂覆，這樣生產(chǎn)出規(guī)定厚度的層。各個濺射設(shè)備被置于涂覆室內(nèi)，所述涂覆室經(jīng)由連接或輸送通道與鄰接室相連。一般來說，在橫向方向上，與涂覆室的真空導(dǎo)率(vacuumconductance)相比，輸送通道的真空導(dǎo)率較低。鄰接的室還可以是涂覆室或者泵艙。...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。