技術(shù)編號：3266151
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種熱處理設(shè)備的真空壓強自動控制裝置，尤其是輝光離子化學(xué)熱處理爐的爐內(nèi)真空壓強閉環(huán)自動控制裝置。背景技術(shù)離子化學(xué)熱處理包括離子滲氮、滲碳、氮碳共滲、滲硫、滲金屬、等離子體化學(xué)氣相沉積等。它是將欲處理的工件置于離子化學(xué)熱處理爐的真空爐內(nèi)，工件接直流輝光放電電源的負(fù)極，爐體接正極。在直流電場作用下，爐內(nèi)氣體發(fā)生輝光放電，生成的正離子轟擊工件(陰極)的表面，將工件加熱到所需要的化學(xué)熱處理溫度(一般在400 600°C之間)，同時氣體輝光放電激活了反...
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