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技術(shù)編號：3264673

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本發(fā)明屬于PECVD設(shè)備表面電場增強，具體地說是一種用于大型板式PECVD設(shè)備的表面電場增強裝置。背景技術(shù)隨著經(jīng)濟建設(shè)的快速發(fā)展，微電子技術(shù)得到了迅猛地發(fā)展，PECVD等離子體處理設(shè)備的開發(fā)和使用也日益廣泛。PECVD即為等離子體增強化學氣相沉積法，在化學氣相沉積時，為了使化學反應能在較低的溫度下進行，可以利用了等離子體的活性來促進反應，這種化學氣相沉積方法稱為等離子體增強化學氣相沉積法，實施該種加工方法的設(shè)備為PECVD設(shè)備。工業(yè)化應用的微波PECVD方...
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