技術編號：3264430
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于壓電薄膜材料領域，具體涉及一種A1N/GAZ0/自支撐金剛石膜結構的聲表面波濾波器件的制備方法。背景技術聲表面波濾波器是一種利用聲表面波效應和諧振特性制備的對頻率有選擇的器件，是應用量最大的一種SAW (surface acoustic wave )器件,其作用是允許某一頻帶的信號通過，而阻止其它頻帶的信號通過，利用叉指換能器(IDT)制作的SAW濾波器的中心頻率/是由制作材料的聲表面波傳播速度K和IDT電極的周期Z決定的，即/ = K/Z。 眾...
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