技術編號：3262894
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及成品率優(yōu)異的Al基合金濺射靶材的制造方法，以及以該方法制造的 Al基合金濺射靶材。背景技術Al基合金濺射靶材主要由熔解法、噴射成形法、粉末法等制造。熔解法是由模具使熔融金屬成形的方法，能夠制造各種組成的合金濺射靶材。但 是，在合金添加量多時，熔解法中會有粗大金屬間化合物結晶出來，其成為起點，在鑄造或 塑性加工中產生裂紋。另外，使用如h等這樣與Al相比熔點、密度高的高熔點、高密度的 元素作為合金元素時，會產生凝固偏析。因此，若以熔解法制造含有Ta等...
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