技術(shù)編號：3262877
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種涂層及其制備方法，特別是，屬于陶瓷涂層。背景技術(shù)過渡族金屬氮化物，如TiN，由于具有較高的硬度和耐磨性，并且耐腐蝕性能優(yōu)良，不但可以作為耐磨涂層，模具和切削刀具的表面強化，而且在表面腐蝕和裝飾的許多工業(yè)領(lǐng)域也有重要的用途。相比于TiN薄膜，ZrN薄膜具有化學及熱穩(wěn)定性高，硬度大，電阻率低，耐磨性好以及類似于黃金的金黃色等一系列優(yōu)異的性能，因此，近年來ZrN薄膜的研究 日益受到重視。然而，隨著制造技術(shù)的高速發(fā)展，尤其是高速切削、干式切削等工藝的...
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