技術(shù)編號：3258582
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種精密加工技術(shù)，尤其是一種拋光加工，具體地說是一種提高精密拋光加工速度和工件表面質(zhì)量的方法及裝置。背景技術(shù)眾所周知，拋光是一種精密、超精密加工過程，廣泛用于多種材料的終道加工。拋光區(qū)域的環(huán)境是非常重要的因素，如環(huán)境濕度、濕度、氣壓等，影響拋光的材料去除和表面質(zhì)量。目前普遍使用的各類拋光機，在工作時多處于全開放式的環(huán)境中，無法避免外界環(huán)境中的粉塵、溫度、濕度、氣壓對拋光質(zhì)量的影響。若拋光環(huán)境混入較大的粉塵，工件表面就會形成劃痕等損傷。環(huán)境溫度及濕...
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