技術(shù)編號：3258078
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明總體上涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，更具體地，涉及金屬硬掩模的制造。背景技術(shù)硬掩模在半導(dǎo)體加工中用于將圖案轉(zhuǎn)印到襯底上，尤其是隨著特征尺寸逐漸縮小。對于遞減的幾何尺寸，金屬硬掩模可以提供所需的蝕刻輪廓和關(guān)鍵尺寸控制。然而，在高殘余應(yīng)力下制造硬掩模會導(dǎo)致圖案失真，而釋放硬掩模中的應(yīng)力則需要熱預(yù)算。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供各種有利的實施例。根據(jù)一個實施例，一種制造金屬硬掩模方法包括，將至少一種金屬反應(yīng)氣體流入被配置為進行化學(xué)汽相沉積(CVD)的反應(yīng)室中，其中，該至少一種金屬...
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