技術(shù)編號：3256743
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于太陽能電池用微晶硅薄膜，具體涉及微晶硅薄膜的制備方法和裝置，也可以應用到異質(zhì)襯底上沉積薄膜，提高薄膜粘接性能和結(jié)晶度的其他領域。背景技術(shù)硅薄膜被視為薄膜太陽能電池的核心材料越來越引起人們的重視。目前制備的硅薄膜主要是以非晶態(tài)的形式存在，但非晶硅薄膜光伏電池存在轉(zhuǎn)換效率低和由S-W效應引起的效率衰退等問題，微晶硅薄膜是一種納米硅晶粒鑲嵌在非晶網(wǎng)絡中的材料，具有較高電導率、較高遷移率的電學性質(zhì)及優(yōu)良的光學穩(wěn)定性，制備高晶化率的微晶硅薄膜可以有效克服非...
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