技術(shù)編號：3256619
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及向基板交替地供給多種反應(yīng)氣體，在基板表面使反應(yīng)氣體相互反應(yīng)，使由反應(yīng)生成物構(gòu)成的膜成膜于基板的。背景技術(shù)伴隨半導(dǎo)體設(shè)備的電路圖案的進ー步的微細(xì)化，對于構(gòu)成半導(dǎo)體設(shè)備的各種膜也要求進ー步的薄膜化和均勻化。作為對應(yīng)這種要求的成膜方法，已知所謂的分子層成膜法(也稱為原子層成膜法)，其通過向基板供給第I反應(yīng)氣體，使第I反應(yīng)氣體吸附于基板的表面，然后向基板供給第2反應(yīng)氣體，使吸附于基板的表面的第I反應(yīng)氣體與第2反應(yīng)氣體反應(yīng)，從而將由反應(yīng)生成物構(gòu)成的膜堆積于...
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