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低溫真空鍍膜裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3255300

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本發(fā)明涉及真空電鍍領(lǐng)域,特別涉及一種低溫真空鍍膜裝置。 背景技術(shù)常見的真空電鍍,被鍍的產(chǎn)品一般都是金屬制品,因?yàn)樵谡婵针婂儣l件下,溫度都比較高,傳統(tǒng)的濺射鍍膜也必須在高溫條件下形成較密的膜層,塑料制品等不能耐受高溫,否則將引起產(chǎn)品變形。發(fā)明內(nèi)容為解決前述存在的問題,本發(fā)明提供一種低溫真空鍍膜裝置,該裝置一真空鍍膜腔體與過濾陰極離子真空鍍膜源連接,真空鍍膜腔體設(shè)有分子真空泵,并在真空鍍膜腔體設(shè)有離子束清洗源,清洗被鍍工件,真空鍍膜腔體溫度低于SOtlC,被鍍...
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