技術編號：3254581
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及。背景技術當前，采用鋯鈦酸鉛(Pb (Zr，Ti) 03、PZT)等強電介質(zhì)的壓電元件應用于噴墨頭、加速度傳感器等MEMS (Micro Electro Mechanical Systems微電子機械系統(tǒng))技術。圖4是表示(100 ) / (001)取向的PZT薄膜、(111)取向的PZT薄膜的壓電特性的曲線圖。已知(100)/ (001)取向的PZT薄膜顯示出比(111)取向的PZT薄膜更大的壓電特性。下面對已有的進行說明。形成壓電元件時，對于...
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