技術編號：3253485
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及太陽能利用設備，具體地說是一種用于非晶硅薄膜太陽電池制作的PECVD裝置。背景技術我們知道，非晶硅薄膜太陽電池是利用輝光放電氣相沉積反應在具有透明導電膜的玻璃基板(以下簡稱玻璃基片)上形成非晶硅p-i-n結構的平板式光電轉換器件，當太陽光照射到電池上時，電池吸收光能產生電子一空穴對，在內建電場作用下，光生電子和光生空穴被分離，兩側出現(xiàn)異性電荷積累，即光生伏特現(xiàn)象，用電極從兩側引出，接上負載，則在負載中有光生電流流過；在太陽光的照射下，持續(xù)獲得...
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