技術(shù)編號：3252877
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。移動f茲極式掃描'減射源本實用新型涉及一種移動磁極式掃描賊射源，特別涉及一種用于磁控鍍膜 工藝中的移動,茲才及式掃描濺射源。背景技術(shù)目前，》茲控濺射方法在薄膜制備領(lǐng)域應(yīng)用越來越廣泛。例如，隨著平板顯示器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，IT0 (氧化銦錫)導(dǎo)電薄膜的制備在這領(lǐng)域就顯得尤為活躍和 突出。特別是現(xiàn)在的TFT (薄膜晶體管)、0LED (有機(jī)電致發(fā)光二極管)等顯示 器所使用的ITO導(dǎo)電玻璃都對對膜層均勾性的要求越來越高。 現(xiàn)在，對于大面積薄膜沉積，主要有以下的幾種方式...
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