技術(shù)編號：3252794
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于低溫等離子體物理與化學(xué)領(lǐng)域中材料表面改性技術(shù)，涉及到一種利用直流輝光放電等離子體在細(xì)長金屬管內(nèi)表面沉積類金剛石薄膜(DLC)的方法及其裝置?？捎糜谲姽尮芘诠?、化學(xué)激光武器中的鹵素氣液輸送管、核反應(yīng)堆循環(huán)水管、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)的活塞部件的內(nèi)表面改性處理。背景技術(shù) 利用高能離子束注入技術(shù)和利用等離子體源離子注入及沉積技術(shù)對材料表面進(jìn)行改性，可以大大改善材料的強(qiáng)度、硬度、耐腐蝕、耐磨等機(jī)械和化學(xué)性能。高能離子束注入技術(shù)和等離子體源離子注入及沉積技術(shù)已經(jīng)廣泛...
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