技術(shù)編號：3252506
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種故障報警裝置以及故障報警方法，尤其是化學(xué)機械拋光 工藝過程中拋光設(shè)備發(fā)生故障時的報警裝置和故障報警方法。背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，半導(dǎo)體制作工藝已經(jīng)進入納米時代，為了 適應(yīng)各項電子產(chǎn)品越做越小，功能越做越強的趨勢，半導(dǎo)體制程中的線寬也由原先的0.18微米發(fā)展到現(xiàn)今的O. 13微米甚至90nm以及65nm的制程。而伴隨著芯片功能越來越強，元件越做越小的趨勢而來的，便是對制作 過程中各種不同環(huán)節(jié)的技術(shù)要求越來越高。由于元件越來越小，而內(nèi)部...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。