技術(shù)編號：3251733
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的實施例大體來說是有關(guān)于一種修改在制程反應(yīng)室內(nèi)使用的材料部件表面的方法。更明確地說，本發(fā)明的實施例是有關(guān)于修改在制程反應(yīng)室內(nèi)使用的反應(yīng)室零組件的表面，以在其上提供經(jīng)紋理化的表面?，F(xiàn)有技術(shù)隨著所制造的電子元件及積體電路元件的尺寸持續(xù)縮減，這些元件的制造變得更容易因污染而降低合格率。明確地說，制造具有較小元件尺寸的元件需要對污染有比先前所需更為嚴(yán)密的控制。這些元件的污染可能是來自包含不樂見的意外微粒在薄膜沉積、蝕刻或其它半導(dǎo)體晶圓或玻璃基材生產(chǎn)制程期間撞...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。