技術(shù)編號：3251066
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種濺射鍍覆的專用設(shè)備，特別是涉及一種用于電子陶瓷連續(xù)式濺射鍍膜設(shè)備。背景技術(shù) 壓電陶瓷等電子陶瓷器件在制造工藝中必須對陶瓷片的兩個表面鍍以金屬薄膜，以便進(jìn)行極化處理并引出電極?，F(xiàn)有技術(shù)是在單爐式的真空鍍膜機(jī)中，用蒸發(fā)技術(shù)對陶瓷片表面蒸鍍銅膜及銀膜。由于蒸發(fā)沉積的薄膜與陶瓷基片的結(jié)合力差，并且簡單膜系的薄膜在高溫?zé)o鉛焊料焊接時膜層的抗熔蝕能力也不佳，因此產(chǎn)品的成品率較低，所制器件的可靠性與穩(wěn)定性不良；此外，單爐式鍍膜生產(chǎn)效率較低，生產(chǎn)成本較高，還...
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