技術(shù)編號：3250549
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及真空鍍膜光學(xué)膜厚監(jiān)控，特別是一種復(fù)合光 路寬光譜膜厚監(jiān)控系統(tǒng)，屬真空鍍膜。技術(shù)背景'在真空鍍膜過程中，需要準(zhǔn)確監(jiān)控鍍制薄膜的膜層厚度，光學(xué)膜 厚監(jiān)控方法是一種重要的技術(shù)手段，尤其是對于光學(xué)鍍膜。光學(xué)膜厚 監(jiān)控方法主要有極值法和寬光譜掃描法。其中極值法是利用薄膜在膜厚達(dá)l/4中心波長時，中心波長點的透射率(反射率)達(dá)到極值的性 質(zhì)來監(jiān)控膜厚，簡單易行，但依賴鍍膜經(jīng)驗，并只能監(jiān)控單波長的透 射光(反射光)強度，難以進(jìn)行非規(guī)整膜系的膜厚監(jiān)控。寬光譜掃描...
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