技術(shù)編號：3249973
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及介質(zhì)阻擋放電氣體的生成裝置，特別是涉及通過向放電空隙部提供氧、氧化合物氣體、臭氧氣體、氮氣、氮化合物氣體等，在高壓電極與低壓電極間施加交流電壓并產(chǎn)生隔著介質(zhì)的介質(zhì)阻擋放電(無聲放電)，可以有效導(dǎo)出在高電場中由放電生成的游離基氣體(激發(fā)氣體)的裝置。背景技術(shù)氧類或氮類的離子及游離基氣體與被處理物質(zhì)的反應(yīng)性非常高，能夠成為用于得到優(yōu)質(zhì)的氧化膜或氮化膜的單元。因此，氧類或氮類的離子及游離基氣體作為半導(dǎo)體領(lǐng)域中的形成絕緣膜的薄膜形成單元、或改善加工工具等...
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