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技術(shù)編號：3249630

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本發(fā)明涉及工、模具涂層，具體涉及，TiCN系列納米梯度復(fù)合多層涂層具體是TiN/Ti (C，hx) /Ti (CN)梯度納米復(fù)合多層涂層。背景技術(shù)先進制造行業(yè)的需求對工、模具表面涂層技術(shù)提出了嚴苛的要求高硬度、高耐磨性、高精密度、高生產(chǎn)效率、環(huán)保等。自上世紀七十年代在工具領(lǐng)域采用化學(xué)氣相沉積(CVD)制備TiN以來，研究結(jié)果表明TiN中的部分N原子可以被C原子取代，形成晶體結(jié)構(gòu)相似的TiC，卜x組分(其中，X = 0-1)，隨著含碳量增加，硬度相應(yīng)提高。從...
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