技術(shù)編號(hào)：3248913
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種具有低磨損率和低摩擦系數(shù)的耐腐蝕薄膜多層結(jié) 構(gòu)，涉及一種包括所述結(jié)構(gòu)的部件，還涉及其沉積方法。幾十年來，具有低磨損率的硬質(zhì)膜，特別是那些具有低磨損率和低 摩擦系數(shù)的硬質(zhì)膜，為諸如切削工具、機(jī)械零件、軋機(jī)構(gòu)件和齒輪等許 多熱機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域帶來了相當(dāng)大的益處。例如，在諸如應(yīng)用于航空航天業(yè) 的鈦合金等金屬合金上制作這種膜目前越來越受到關(guān)注。通常使用PVD(物理氣相沉積)法生成薄膜。特別是當(dāng)薄膜將要受到 摩擦磨損時(shí)，薄膜可以基于氮化物和/或碳化物，例如T...
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