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技術(shù)編號：3246254

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本發(fā)明涉及在光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體涂敷、LCD的ITO (Indium Tin Oxide) 或IZO (Indium Zink Oxide)涂敷等領(lǐng)域廣泛使用的濺涂裝置(sputtering apparatus)、即薄膜蒸鍍裝置。背景技術(shù)本發(fā)明涉及LCD-TFT的ITO或IZO薄膜、半導(dǎo)體薄膜、AR( Anti-reflex film)薄膜、IR (Infra-red)薄膜等薄膜制造批量生產(chǎn)系統(tǒng)。最近，光學(xué)薄膜系統(tǒng)為了進一步提高效率，以多層薄膜結(jié)構(gòu)形態(tài)調(diào)節(jié) T...
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