技術(shù)編號：3246080
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種濺鍍裝置，且特別是涉及一種利用導(dǎo)磁零件結(jié)合靶材及 背板且提高磁場接近于靶材的轟擊面的磁控濺鍍陰極機(jī)構(gòu)。背景技術(shù)在機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)或半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域，為了對所使用的材料賦與某 種特性在材料表面上以各種方法形成被膜(一層薄膜)而加以使用。濺鍍法 是目前最流行的方法之一，可應(yīng)用于裝飾品、餐具、刀具、工具、模具、半 導(dǎo)體元件等的表面處理，泛指在各種金屬材料、超硬合金、陶瓷材料及晶片 基板的表面上，成長一層同質(zhì)或異質(zhì)材料薄膜的工藝，以期獲得美觀、耐磨、...
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