技術(shù)編號：3244804
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。0003本發(fā)明一般涉及濺射靶，具體而言，涉及全密度鈷-鎢濺 射耙及其制造方法。背景技術(shù)0004全密度鈷-鴇濺射耙的制造具有許多挑戰(zhàn)。具體而言，由 于鈷(Co)與鎢(W)之間的密度差別，在含有二者的濺射靶中，元 素相傾向于在制造過程中偏析。而且，制造過程中過多金屬間相的形 成可能使得形成的合金極其堅硬、易碎并且在加工過程中容易破裂。發(fā)明內(nèi)容0005本發(fā)明通過提供全密度鈷-鎢濺射靶及其制造方法，解決 了上述問題。所述濺射靶可以含有20-80 at.% (原子百...
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